Hellma氟化鈣晶體 CaF?窗口片激光光學元件

　　德國Hellma（豪瑪）氟化鈣CaF?單晶，德國耶拿基地坩堝下降法自主生長，高純99.999%+原料，雜質＜1ppm，透光覆蓋130nm?9μm（真空紫外到中紅外），是半導體DUV光刻、高功率準分子激光、航天空間光學、FTIR紅外光譜、拉曼檢測的核心光學基材。

　　完整工藝鏈：晶體生長?高溫退火?切割?研磨?超精密拋光；每批次提供原廠檢測證書，包含純度、光學均勻性、LIDT激光損傷閾值、應力雙折射檢測報告，數據可溯源PTB德國計量院。

　　?核心優勢

　　1.超寬光譜透過：130nm深紫外即可高透過，193nm內部透過率＞99.6%/cm；中紅外2?7μm透過穩定＞90%，彌補石英無法到達中紅外波段短板。

　　2.極低色散，消色差能力強：阿貝數νd=95.23，顯著降低光學系統色差，大幅提升成像、光譜檢測精度Hellma。

　　3.低應力雙折射：退火工藝優化，應力雙折射≤0.5?nm/cm，折射率均勻性＜5ppm，減少成像畸變，適配光刻等高精度場景。

　　4.高激光耐久性能：低非線性折射率，高激光損傷閾值，適配193/248nm準分子激光，長期高能量輻照不易老化，延長元件壽命Hellma.。

　　5.大尺寸供貨：單晶最大φ250mm；多晶毛坯最大φ440mm；厚度最大150mm；晶向支持標準<111>，可定制<100>等特殊晶向。

　　6.耐輻照穩定：抗電離輻射，適合太空、航天載荷等嚴苛環境；低熒光，光譜測試背景干擾極低。

　　典型應用場景

　　?半導體光刻：193nm/248nmDUV光刻物鏡、照明系統、準分子激光諧振腔窗口，芯片制程光學核心坯料

　　?高功率激光：準分子激光窗口、光束傳輸元件、真空腔窗口、醫用激光光學組件

　　?航天天文光學：空間望遠鏡、衛星載荷光學窗口，太空輻照環境穩定工作

　　?分析儀器：FTIR傅里葉紅外光譜、拉曼光譜儀、紫外分光光度計光學窗口

　　?真空設備：真空紫外窗口、特種工況觀察窗口

　　可提供供貨形態

　　1.晶體毛坯（精磨毛坯，可客戶二次加工）

　　2.拋光窗口片、棱鏡坯料

　　3.支持超精密加工：Ra≤0.3nm超精拋光、楔角、特殊外形

　　4.配套可選：增透膜AR、抗激光損傷鍍膜方案技術支持

　　Q：Hellma氟化鈣和普通國產CaF?核心差異？

　　A：Hellma自主晶體生長，高純原料，嚴格退火，應力雙折射、深紫外透過、激光耐久指標控制嚴苛，每批帶全套檢測證書，適配光刻、航天等高可靠性要求場景。

　　Q：可以提供哪些晶向？

　　A：標準<111>；可定制<100>以及其他特殊晶體取向。

　　Q：最大可以做到多大尺寸？

　　A：單晶最大φ250mm；多晶毛坯最大φ440mm

Hellma氟化鈣晶體 CaF?窗口片激光光學元件